除尘系统

处理原理

      含尘废气从顶端进入集尘机，重力和惯性力使得颗粒较粗大的尘粒下沉落入灰斗，颗粒细小的尘粒在经过滤筒时，沉积附着在滤筒滤料表面，通过吹扫落入灰斗。除尘后的废气经一次风机抽送至三段式洗涤塔，经氧化、还原、碱洗处理以去除NOx、氟化物等废气成分，处理达标后的洁净气体再经二次风机抽排至烟囱，排放至大气环境。

适用废气

     电子半导体等行业在化学气相沉积CVD、干蚀刻、扩散、离子植入及磊晶等制程时产生的粉尘、NOx、氟化物等有污染物气体。

应用领域

     复合材料制备、微电子学工艺、半导体光电技术、太阳能利用、光纤通信、超子导技术。