剥离液系统

处理原理

       剥离液废气在前端洁净室内,经冷凝器中的初效滤网拦截粒径10μm以上的杂质,拦截效率为99%;再经深度过度器处理,将冷凝处理后的混合气体通过烛式滤筒进行深度过滤,对粒径2μm以上的液滴进行拦截(拦截率在率在99%以上);集成至屋面主集管的剥离液废气再经洗涤塔做相应处理并除雾,处理后达标的废气由风机抽排至烟囱,再排放于大气环境中。

 

 

适用废气

     剥离液废气中的有害成分包含N-Methylformamide、Diethyleneglycol-t-butylether、乙醇胺等。

 

应用领域

     集成电路、分立器件、显示面板、太阳能电池等生产湿法工艺制造。

系统方案

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