剥离液系统

处理原理

       剥离液废气在前端洁净室内，经冷凝器中的初效滤网拦截粒径10μm以上的杂质，拦截效率为99%；再经深度过度器处理，将冷凝处理后的混合气体通过烛式滤筒进行深度过滤，对粒径2μm以上的液滴进行拦截（拦截率在率在99%以上）；集成至屋面主集管的剥离液废气再经洗涤塔做相应处理并除雾，处理后达标的废气由风机抽排至烟囱，再排放于大气环境中。

适用废气

     剥离液废气中的有害成分包含N-Methylformamide、Diethyleneglycol-t-butylether、乙醇胺等。

应用领域

     集成电路、分立器件、显示面板、太阳能电池等生产湿法工艺制造。